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1. 반도체 공정에서의 O-ring의 역할
1. 소재의 기호 표기
1) 기호표시
No. | 종류 | 영문 | 기호 |
1 | 천연생고무 | Natural Rubber | NR |
2 | 합성고무 (스티렌-부타디엔고무) |
Styrene Butadiene Rubber | SBR |
3 | 합성고무 (니트릴고무) |
Acrylo Nitril Butadiene Rubber | NBR |
4 | 합성고무 (클로로프렌고무) |
Chloroprene Rubber (CR 고무는 네오프렌(Neoplene)고무와 같음) |
CR |
5 | 합성고무 (부타디엔고무) |
Butadiene rubber | BR |
6 | 합성고무 (아크릴고무) |
Acrylic rubber | ACM or ANM |
7 | 합성고무 (에틸렌-프로필렌고무) |
Ethylene Propylene Terpolymer | EPDM |
8 | 합성고무 (부틸고무) |
Butyl Rubber | IIR |
9 | 합성고무 (다유화고무) |
Thiocol Rubber | Thiokol |
10 | 용액고형생고무 | Standard Maraysian Rubber | SMR |
11 | 합성고무 (실리콘고무) |
Silicon Rubber | SIU,Q |
12 | 합성고무 (우레탄고무) |
Urethane Rubber | UR |
13 | 합성고무,바이톤고무 (불소고무,바이톤) |
Viton Fluoro Rubber | FR |
14 | 합성고무 (에피클로로 히드린) |
Epichlorohydrin Ethyleneoxide Coplymer | CHC,ECO |
15 | 합성고무 | Epichlorohydrin Rubber | CHR |
16 | 합성고무 | Propylene Oxide Rubber | POR |
17 | 합성고무 (하이파론고무) |
Chlorosulphonated Polyethylene Hypalon | CSM |
18 | 합성천연고무 | Polyisoprene Rubber | IR |
19 | 불소고무 | Fluoroelastomer Rubber | FKM |
20 | 불소실리콘 고무 | Fluorosilicon Rubber | FMQ |
21 | 수소화 니트릴 고무 | Hydrogenater Nitrile Butadiene Rubber | H-NBR |
22 | 폴리 우레탄 고무 | Polyurethane Elastomer Rubber | PUR |
2) 충진제(Carbonates)
No. | 종류 | 영문 | 기호 |
1 | 경탄류 | Calcium Carbonate | CaCO3 |
2 | 중탄류 | Magnecium Carbonate | MgCO3 |
3 | 경질 크레이 | Hard Clay | |
4 | 연질 크레이 | Soft Clay | |
5 | 백카본 | Zinc Carbone | Silica |
6 | 흑카본 | Black Oxid | SRF,HAF,FEF |
7 | 산화 보강제 아연화 | Magnecium Oxid | ZNO |
8 | 산화 마그네슘 | MGO |